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新宇宙XP-703D半導體特氣檢漏儀

更新時間:2024-06-21

儀器型號:XP-703D

簡要描述:

XP-703D半導體特氣檢漏儀是日本新宇宙NEW COSMOS公司生產的測量半導體材料氣體(砷化三氫、磷化氫、乙硼烷、硅烷等毒性氣體檢測儀)

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新宇宙XP-703D半導體特氣檢漏儀

XP-703D半導體特氣檢漏儀是日本新宇宙NEW COSMOS公司生產的測量半導體材料氣體(砷化三氫、磷化氫、乙硼烷、硅烷等毒性氣體檢測儀)

XP-703D半導體特氣檢漏儀zui適用于半導體材料氣體的超微量泄漏檢測。XP-703D毒性氣體檢測儀通過報警燈及蜂鳴器即可得知氣體泄漏。

XP-703D半導體特氣檢漏儀技術參數

規格

 

XP-703D

檢測對象氣體

 

半導體材料氣體(砷化三氫、磷化氫、乙硼烷、硅烷等)

檢測原理

 

型半導體式

能檢測的泄漏量 

能檢測的濃度

 

砷化三氫

 

AsH3

 

1.0×10-7

 

0.2

 

磷化氫

 

PH3

 

1.5×10-7

 

0.3

 

乙硼烷

 

B2H6

 

0.5×10-7

 

0.1

 

硅烷

 

SiH4

 

2.5×10-7

 

0.5

 

氫氣

 

H2

 

5×10-7 Pa?m3 /s

 

1.0 ppm

應答時間

 

10 

檢測表示

 

蜂鳴器發出斷續音且警報燈閃爍

電 源 1

 

5號錳干電池4

電池使用時間

 

使用堿性干電池使用約9小時(使用錳干電池約3小時)

使用溫度范圍

 

0~ 40

外形尺寸

 

W68×H155×D32

重量

 

約 400g

XP-703D毒性氣體檢測儀附件

 

皮套、排放過濾器、過濾片、檢查氣體、 標準附屬品、5號錳干電池4

另售的選購件

 

Ni-Cd 電池充電器、耳機

XP-703D半導體特氣檢漏儀也可使用堿性干電池、Ni-Cd 電池

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